MEMS制造工艺

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版权说明

发布日期：2021-11-15

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来源：吉林交通职业技术学院

作者：孙敏

简介：

MEMS制造工艺是集成电路IC制造工艺的一支，但与传统IC制造工艺相比存在明显差异。传统IC制造的目的是在单位面积上集成尽可能多的晶体管，如英特尔最新i7处理器可集成数十亿只晶体管，与之相比，MEMS传感器件集成元件数量少、单个元件体积较大，因此MEMS制造工艺并非一味追求更小的制程节点与更高的集成度，而是更加注重材料的结构机械特性、材质化学特性以及刻蚀深度、精度、应力控制等每一步工艺的准确实现。